第189章 令人震惊的性能（3 / 4）

这要是安装在一台顶配的光刻机上，那性能将大大提高，而且耗电量也不用那么的恐怖。

如果能够配合这样的极紫外光源，那改造的光刻机或许能够将芯片制程提升到十几纳米。

“真是太好了，或许我们接下来就不用这么被动了，许先生，你真是让我惊喜啊！”

任老笑道，上次虽然在发布会上说了要搞极紫外光源，任老也当即决定和燧人科技合作，希望能够借助长光机电所的科研实力，共同改进光刻机，希望能够提升到14纳米的水平。

原以为要等很久，但是这个合作貌似快要实现了。

另外，极紫外光也能被透镜吸收。

因此，将极紫外光集中到一起只能靠反射了。用硅与钼制成的镀膜反射镜，可以用来集中极紫外光。但是极紫外光每被反射一次，能量就会损失三成。极紫外光从光源出发，经过十几次反射，到达晶圆的时候，只剩下不到2％的光线了。

而要得到这样高功率的极紫外光，需要极大的激光器。但是这样的激光器在工作时会产生很大的热量，需要一套优良的散热冷却系统，才能保证机器正常工作，而这又需要消耗大量电力。

据悉，目前AMSL公司的极紫外光刻机的输出功率为250w，要达到这样的输出功率，需要0.125万千瓦的电力输入才能维持，相当于一天要消耗3三万度电.

可以说，EUV光刻机可是一只吞电巨兽啊！恐怖如斯！

“嗯，接下来就让我拭目以待吧！”

许黎点了点头。

这些电都可以让夏天的小伙伴在家开好几个月的空调了，即使不用空调，也够好几年的家庭用电了。

所以，即使就算造出了极紫外光刻机，那其恐怖的耗电量也能让钱包大大缩水一圈的。

但是现在他听到了什么？

45%的转换效率？

这可是连ASML的光刻机都做不到这样的转换效率。