第189章 令人震惊的性能（2 / 4）

“根据我们反复实验，其最终实际CE值为45%，输出功率为220w。”

一般衡量EUV光源性能主要有两个指标：转换效率（CE）即在13.5nm附近2%带宽内输出的能量占总输入能量的百分比；以及输出功率，即在中间会聚点（IF）处测得的功率。

“CE值45%？！你确定？”

一旁的张云惊疑了一声。

他虽然是花为管理层，但也是理工出身，加上这些年时不时会学习，与时俱进，自然知道这个数值的意义。

另一边

离得比较近的花为副总陪着任老爷子来到了燧人科技的重明鸟光学技术研发实验室里。

作为燧人科技的合作伙伴与盟友，张云也第一时间收到了来自许黎的消息，并将这件事告诉了还在喝茶养生的任老，然后就马不停蹄地赶了过来。

“许先生，EUV光源真的成功了吗？可以让我们看看吗？”

任老上来就有些急不可耐。

要知道极紫外光刻机的光电转换效率仅仅只有0.02~0.05%左右。

因为极紫外光能够被绝大部分材料吸收，所以必须消耗电力把整个环境都抽成真空。

“当然可以，请。”

许黎点点头，随后便带着几人进了实验室。

极紫外光源仿佛一个绝美的宝藏在他们眼前熠熠生辉。

“性能怎么样？”

任老问了一句。